一种刻蚀槽

摘要

一种刻蚀槽，环形槽体内水平垂直方向设置有隔断，两个隔断间设置垫块，环形槽体壁一端设置进口，另一端设置出口。隔断高度等于或略低于垫块高度。本实用新型采用隔断可以减小新型刻蚀槽内溶解液的波动，减少刻蚀液溅散不良的发生。垫块可以控制屏裙部进入刻蚀液的深度。该实用新型有效地满足了多管种兼容生产、保证了屏裙部石墨高度的一致性、解决了刻蚀液溅散不良。

主权项

1、一种刻蚀槽，包括环形槽体(5)，其特征在于，环形槽体(5)内水平垂直方向设置有隔断(1)，两个隔断(1)间设置垫块(4)，环形槽体(5)壁一端设置进口(2)，另一端设置出口(6)。