激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置

摘要

激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置属于激光测量技术领域；在与参考棱镜相对的偏振分光棱镜的一侧同光轴位置依次放置偏振片和激光长度测量仪，偏振片固定在电动旋转平台上，电动旋转平台、激光长度测量仪、空气折射率测量仪分别通过控制总线与激光外差干涉仪的控制单元相连，空气折射率测量仪探头传感器放置在偏振分光棱镜与测量棱镜之间；本装置可有效降低实时测量中空程误差对测量结果的影响。

主权项

1、一种激光外差干涉仪空程误差自动补偿装置，包括：空气折射率测量仪(1)、激光外差干涉仪的控制单元(2)、偏振分光棱镜(6)、参考棱镜(7)、测量棱镜(8)，其特征在于：在与参考棱镜相对的偏振分光棱镜(6)的一侧同光轴位置依次放置偏振片(5)和激光长度测量仪(3)；偏振片(5)固定在电动旋转平台(4)上；电动旋转平台(4)、激光长度测量仪(3)、空气折射率测量仪(1)分别通过控制总线与激光外差干涉仪的控制单元(2)相连；空气折射率测量仪(1)探头传感器放置在偏振分光棱镜(6)与测量棱镜(8)之间。