| 发明名称 | 使用预先制程控制机架的制程工具的缺陷检测及其控制的方法及装置 | ||
| 摘要 | 一种在预先制程控制(APC)机架上进行缺陷检测的方法及装置。第一接口接收制程工具上与处理工件有关的操作状态数据。状态数据从第一接口送至缺陷检测单元。缺陷检测单元根据状态数据判定制程工具是否存在缺陷状况。根据存在的缺陷状况，对制程工具执行预定的动作。根据一个实施例，预定的动作是关停制程工具以防止再生产出有缺陷的晶圆。 | ||
| 申请公布号 | CN100520651C | 申请公布日期 | 2009.07.29 |
| 申请号 | CN01814522.1 | 申请日期 | 2001.07.03 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | E·小科斯;Q·王;T·J·赖利 |
| 分类号 | G05B19/418(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/418(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈 泊;程 伟 |
| 主权项 | 1. 一种方法，包括：从第一接口接收制程工具上与所处理的工件的加工有关的操作状态数据；将状态数据从第一接口传送至数据收集单元；在数据收集单元积累状态数据；将状态数据从数据收集单元传送至缺陷检测单元；以及根据状态数据判定制程工具是否存在有缺陷情况；并针对存在的缺陷情况，对制程工具执行预定动作。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||