| 发明名称 | 单片集成的具有双焦微透镜阵列的CMOS图像传感器 | ||
| 摘要 | 一种单片集成的具有双焦微透镜阵列的CMOS图像传感器，包括：标准CMOS逻辑电路，其集成了硅pin光电二极管；微透镜阵列，集成在CMOS电路有源区域对应的光吸收表面；氮化硅层，覆盖微透镜阵列；滤色镜，设置于氮化硅层上面；其特征在于，所述微透镜阵列是双焦微透镜阵列，与CMOS电路单片集成。其折射率为1.44～2.0用于较好的光学聚焦双焦微透镜阵列，提高光收集和量子效率。 | ||
| 申请公布号 | CN100521219C | 申请公布日期 | 2009.07.29 |
| 申请号 | CN200610029511.1 | 申请日期 | 2006.07.28 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 肖德元;朱虹;洪中山;严祥成;卢普生;陈国庆;杨建平;李若加 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 | 代理人 | 李 勇 |
| 主权项 | 1. 单片集成的具有双焦微透镜阵列的CMOS图像传感器，包括：标准CMOS逻辑电路，其集成了硅pin光电二极管；微透镜阵列，集成在CMOS电路有源区域对应的光吸收表面；氮化硅层，覆盖微透镜阵列；滤色镜，设置于氮化硅层上面；其特征在于，所述微透镜阵列是双焦微透镜阵列，与CMOS电路单片集成，其中，所述微透镜阵列中的每个微透镜皆由第一透镜和第二透镜组成，所述第一透镜的侧壁为圆形，所述第二透镜位于所述第一透镜上方，其表面为圆顶型，所述第一透镜和第二透镜的曲率不同，所述第一透镜和第二透镜的材料相同。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||