热处理设备和发电组件

摘要

一种设置在衬底(41)上的热处理设备，包括发热部分，该发热部分包括：发热层(47a)、接触发热层的一个表面以阻止由于发热层的发热引起的热扩散的扩散阻挡层(47b)、和设置在衬底与扩散阻挡层之间的粘着层(47c)。

主权项

1、一种设置在衬底上的热处理设备，该热处理设备包括：发热部分、电源部分和控制部分，该发热部分包括：发热层，含有Au，且电阻随着温度呈线性函数变化；扩散阻挡层，接触所述发热层的一个表面以阻止由于所述发热层的发热引起的、构成所述发热层的物质的热扩散；以及粘着层，设置在所述衬底与所述扩散阻挡层之间，该电源部分向所述发热部分施加电压或流入电流以加热该发热部分，该控制部分根据施加到所述发热部分的电压或电流来读取所述发热部分的电阻，根据所述电阻读取所述发热部分的温度，并控制所述电源部分以控制所述发热部分的温度。