发明名称 |
一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置 |
摘要 |
本发明涉及一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置。本发明采用以下三个闭路循环:酸性废蚀刻液铜分离及组分调配循环、铜萃取剂循环、电解提铜和反萃取剂循环。酸性废蚀刻液经过铜萃取-反萃取机构除铜后再经组分调配供酸性蚀刻机循环使用,萃取剂在铜萃取-反萃取机构中循环使用,含铜反萃取剂在经过电解沉积铜除铜后返回铜萃取-反萃取机构中循环使用,电解沉积铜所产生的电解铜可以作为商品出售,所以在整个处理过程中物料实现闭路循环,没有废水排放,能有效回收铜和循环利用废蚀刻液中其他物质。并且由于其铜萃取剂的萃取和反萃取操作都是在铜萃取-反萃取机构中进行,槽内液体流动靠溢流不需要泵,所以其不仅操作方便,而且整体结构紧凑。 |
申请公布号 |
CN101492186A |
申请公布日期 |
2009.07.29 |
申请号 |
CN200910037601.9 |
申请日期 |
2009.03.05 |
申请人 |
陈飙 |
发明人 |
陈飙 |
分类号 |
C02F1/26(2006.01)I;C25C1/12(2006.01)I |
主分类号 |
C02F1/26(2006.01)I |
代理机构 |
广东世纪专利事务所 |
代理人 |
刘 卉;曾忠群 |
主权项 |
1、一种酸性废蚀刻液的循环再生方法,其特征在于包括以下循环步骤:酸性废蚀刻液铜分离及组分调配循环:酸性蚀刻机进行蚀刻后所产生的酸性废蚀刻液在铜萃取-反萃取机构(2)中经铜萃取剂萃取除铜后形成提铜后废蚀刻液,提铜后废蚀刻液在进行组份调配使其达到生产所需要求后,返回酸性蚀刻机(1)循环使用;铜萃取剂循环:铜萃取剂在所述铜萃取-反萃取机构(2)中萃取铜后形成含铜的铜萃取剂,含铜的铜萃取剂再与反萃取剂充分反应使铜离子释放到反萃取剂中,卸载铜后的铜萃取剂恢复萃取功能,返回萃取-反萃取机构(2)中的萃取工序循环使用;电解提铜和反萃取剂循环:所述含铜离子的反萃取剂经过电解沉积提铜后恢复反萃取功能,返回铜萃取-反萃取机构(2)中的反萃取工序循环使用,而电解沉积所提取出来的铜为高纯度铜。 |
地址 |
510220广东省广州市海珠区南华东路朗晴二期C座701室 |