发明名称 |
一种互套双仓真空镀膜系统及其应用方法 |
摘要 |
本发明公开了一种真空镀膜系统,其空间布局采用互套双仓结构,其中一个镀膜仓和一个过渡仓,通过设置在两仓隔壁上的高真空阀锁,开启闸门两仓连通,可以在真空条件下在该两仓之间进行工件换位;关闭闸门两仓隔离,此时过渡仓充气不影响镀膜仓的正常工作。这种互套双仓真空镀膜系统具有结构简单、强度高、成本低和占用空间小等明显优势。同时本发明还公开了一种采用上述装置进行节拍式连续镀膜的方法,通过上述装置实现大批量镀膜生产,可以提高生产效率,降低成本。 |
申请公布号 |
CN100519825C |
申请公布日期 |
2009.07.29 |
申请号 |
CN200510135230.X |
申请日期 |
2005.12.27 |
申请人 |
北京实力源科技开发有限责任公司;刘阳 |
发明人 |
刘阳 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京中誉威圣知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丛 芳;彭晓玲 |
主权项 |
1、一种真空镀膜系统,其特征在于:(1)镀膜系统的空间布局为双仓互套结构,一仓为镀膜仓,另一仓为过渡仓,且镀膜仓位于过渡仓内部;在两仓隔壁上设置有真空阀锁,开启该阀锁实现镀膜仓和过渡仓的连通,使工件在真空条件下进行在两仓之间的换位,关闭该阀锁两仓隔离,此时过渡仓的充气不影响镀膜仓的工作;(2)所述镀膜仓设有真空排气装置及镀膜装置;(3)在所述过渡仓内设置至少两个工件架的工位,并连接一真空排气装置;(4)在所述真空镀膜系统中包括工件架系统,所述工件架系统设有传动装置,可以方便地进行运动和一维弯曲,并且在所述工件架上能固定一定柔性的板状工件,或者装卡刚性散装工件进行运动和镀膜,工件架上的转杆和刚性散装工件在运动的同时能选择进行二维转动。 |
地址 |
100070北京市丰台区科学城邮局4分箱 |