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发明名称 REDUCTION IN STAGE MOVEMENT REACTION FORCE IN AN ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY MACHINE
摘要
申请公布号 EP2082414(A1) 申请公布日期 2009.07.29
申请号 EP20070824111 申请日期 2007.10.11
申请人 VISTEC LITHOGRAPHY INC. 发明人 HARRIS, PAUL GEORGE;TINGAY, JOHN MELBOURNE
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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