具有电荷控制之电浆掺杂系统

摘要

一种电浆掺杂方法，包括在电浆室中支撑着基板的平台附近产生包含掺质离子的电浆。利用具有负电位的偏压波形来对平台施加偏压，使电浆中的离子被吸引到基板上以进行电浆掺杂。监测至少一个感测器，其中至少一个感测器是用来测量与有利于产生放电的充电状态有关的资料。至少一个电浆制程参数被修正以回应于所测量的资料，从而降低产生放电的机率。