化学气相沉积程序之源物质量之测量方法

摘要

本发明系提供一种方法，该方法系于将自收纳于源物质蒸发部之源物质蒸发的源气体供给至沉积室并执行薄膜沉积之化学气相沉积程序中，测量残留于源物质蒸发部之源物质量者，又，有关本发明之方法包含有以下步骤，即：(a)将源物质蒸发部之气体压力维持于第1压力者；及(b)将测量气体供给至源物质蒸发部，并将源物质蒸发部之气体压力维持于第2压力者，又，自直到源物质蒸发部之气体压力从第1压力到达第2压力时之测量气体的供给量或供给时间，测量残留于源物质蒸发部之源物质量。