用于压印制程之模仁制造方法

摘要

一种用于压印制程之模仁制造方法，其包括以下步骤：提供一透光基底；提供一承载基底；于透光基底与承载基底之间设置负光阻层；应用直写技术经由透光基底对负光阻层曝光；移去承载基底；显影，形成模仁。该制造方法制程简单，提高了生产效率。