非密闭制程腔体之保护气体控制方法与装置

摘要

本发明系一种非密闭制程腔体之保护气体控制方法与装置，其系包括有：开启装置，并将保护气体连接至若干节流阀；设定若干节流阀开启时间；设定腔体含氧浓度之第一目标值及第二目标值；腔体开始加热；制程设备是否已运作；腔体之进出料闸门是否开启；开启全部节流阀至一预定时间；关闭至少一节流阀若腔体含氧浓度小于或等于第一目标值，关闭至少一节流阀；若腔体含氧浓度小于或等于第二目标值；关闭至少一节流阀；保持节流阀开启数量；腔体内温度低于预定温度时停止供应保护气体。