发明名称 Reparaturverfahren für optische Elemente mit Beschichtung und entsprechende optische Elemente
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reparatur von optischen Elementen mit einer Beschichtung, bei welchem die Beschichtung vollständig oder teilweise entfernt wird oder auf dem optischen Element belassen wird, wobei in der Beschichtung eine Polierschicht vorgesehen ist oder eine Polierschicht aufgebracht wird, welche eine einfache Bearbeitung der Oberfläche zur Erzielung hoher Formgenauigkeit und geringer Oberflächenrauheit ermöglicht. Auf die entsprechende Polierschicht wird eine neue Beschichtung aufgebracht. Die vorliegende Erfindung betrifft darüber hinaus entsprechend vorbereitete optische Elemente oder nach dem Verfahren wiederverwendete (recycelte) optische Elemente.</p>
申请公布号 DE102008054882(A1) 申请公布日期 2009.07.16
申请号 DE20081054882 申请日期 2008.12.18
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 BOEHM, THURE
分类号 G02B1/10 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
主权项
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