支持组件

摘要

本发明提供一种由基板表面移除原生氧化物之方法及设备。在一实施态样中，该设备包括一支持组件。在一实施例中，该支持组件包括耦接至一碟状主体之轴杆。轴杆具有形成于其中之一真空导管、热传送流体导管及气体导管。碟状主体包括一上表面、一下表面及一圆柱状外表面。热偶系嵌设在碟状主体中。凸缘由圆柱状外表面径向往外延伸，其中该碟状主体之下表面包括凸缘之一侧。流体通道系形成在碟状主体中而接近凸缘及下表面。流体通道系耦接至轴杆的热传送流体导管。复数个沟槽系形成在碟状主体之上表面中，且透过碟状主体中的孔洞而耦接至轴杆的真空导管。气体导管系形成穿过碟状主体，且将轴杆的气体导管耦接至碟状主体之圆柱状外表面。碟状主体中的气体导管之定向系实质垂直于碟状主体之中线。