检查装置及检查方法

摘要

本发明之检查装置1，在当DMD元件31之像素(微镜)皆设定在ON状态而使来自晶圆W的光皆导向2维摄影元件33时，系根据以2维摄影元件33所测得之傅利叶影像的亮度资讯，求出DMD元件31之像素中将来自晶圆W的光导向检测元件36a、36b、36c的像素，将求出之DMD元件31之像素设为OFF状态，使来自晶圆W之光的一部分经OFF状态之像素的反射，而导向检测元件36a、36b、36c。