| 摘要 |
本发明系一种晶圆裂片光学检知设备之取像装置，系用以撷取晶圆被劈裂切割道的影像，提供判断晶圆劈裂与否之用，该取像装置主要使用一组影像撷取器倾斜设置于晶圆下方，以斜向撷取通过晶圆劈裂缝的光线产生的影像，或使用一组包含有影像转向组件的折射式影像撷取器横向设置于晶圆下方，该影像转向组件并以其倾斜状反射面设于镜头前方，用以在晶圆被劈裂时，使光通过晶圆的裂缝，经影像转向组件倾斜反射面折射后进入镜头，为该影像撷头器撷取影像，进而传送至电脑判断晶圆劈裂与否，本发明藉由该斜向观察通过晶圆裂缝而折射的光线，可提升光学检知判断的精确性，同时兼具不占空间之功效。 |
