首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
微影装置及器件制造方法
摘要
本发明揭示用以控制一浸没微影装置内之浸没液体之行为的电湿润之使用。
申请公布号
TW200931199
申请公布日期
2009.07.16
申请号
TW097146771
申请日期
2008.12.02
申请人
ASML荷兰公司
发明人
史杰德 尼可拉斯 蓝伯特 东德;尼可拉斯 坦 凯特;鲁卡斯 亨利克斯 琼斯 史蒂芬斯;罗纳德 凡 德 翰;米歇尔 瑞潘
分类号
G03F7/20(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
荷兰
您可能感兴趣的专利
PNEUMATIC DRILL SUPPORTING AND FEEDING APPARATUS
PRESSURE SENSING SWITCHES
Range blank for echo-controlled torpedo
Preparation of 4-chlorodiphenyl oxide
VAPORIZER
Transistor blocking oscillator power supply
Transducer mounting
Communication system
Drawing lubricant coating composition
Conversion of paraffins to aromatics
Refining of hydrocarbons
Increasing the yield of gasoline boiling range product from heavy petroleum stocks
Biocidal compositions for topical application
Pneumatic servomotor unit
Measurement method and apparatus
Transistor switching apparatus with leakage resistance stabilizing means
Welding process and apparatus
Drawer lock
One-piece vehicle body
Vehicle banking device