用于奈米压印微影术之多孔性模板及压印堆叠体

摘要

一种压印微影术模板或是压印堆叠体，其包括一多孔材料，该多孔材料界定多个平均孔隙尺寸系至少约为0.4奈米之孔隙。该多孔材料之一孔隙率系至少约为10％。多孔性模板、多孔性压印堆叠体或二者能够用于一压印微影术程序中，以有助于将困在模板与压印堆叠体之间的气体扩散进入该模板、压印堆叠体或二者，以致于使位于压印堆叠体与模板之间的可聚合材料快速地在压印堆叠体以及模板之间形成一实质连续层聚合化材料快速地在压印堆叠体以及模板之间形成一大体上的连续层。