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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erwärmung von Substraten, bei welcher man mit einer Lampe Substrate erwärmt, welche eine Stromquelle, einen Kondensator, welcher durch die Stromquelle geladen wird, eine Blinklampe, welche durch die elektrische Ladung entlädt, die in dem Kondensator gespeichert wurde, eine Induktanz, welche zwischen dem Kondensator und der Blinklampe angeschlossen ist, sowie eine Trigger-Vorrichtung zum Starten einer Entladung in der Blinklampe umfasst. Sie umfasst weiter eine Diode, welche parallel zu einer Reihenschaltung aus der Blinklampe und der Induktanz angeschlossen ist, ein Halbleiterschalter, welcher an die Blinklampe in Reihe geschaltet ist, sowie ein Regelglied zur Regelung des Ein- und Ausschaltens des Halbleiterschalters, worin das Regelglied eine Treiberschaltung aufweist, welche ausgebildet ist, ein erstes Treibersignal auszugeben, das den Halbleiterschalter wenigstens einmal ein- und ausschaltet, nachdem der Trigger-Vorrichtung ein Trigger-Signal eingegeben wurde, sowie ein zweites Treibersignal auszugeben, das nach der Ausgabe des ersten Treibersignals den Halbleiterschalter nur einmal einschaltet, und worin die Dauer, während welcher das zweite Treibersignal den Halbleiterschalter einschaltet, länger ist als die Dauer, während derer der Halbleiterschalter durch eines der Treibersignale von den ersten Treibersignalen eingeschaltet wird. Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung.
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