| 摘要 |
Zum Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand wird ein Muster mit einer Anzahl von helleren und dunkleren Streifen bereitgestellt, die einen sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernden, räumlichen Intensitätsverlauf mit einer Amplitude und einer räumlichen Periode bilden. Der Gegenstand mit der Oberfläche wird relativ zu dem Muster positioniert, so dass der räumliche Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt. Es wird eine Bilderserie mit zumindest drei Primärbildern aufgenommen, wobei jedes Primärbild die Oberfläche mit dem räumlichen Intensitätsverlauf zeigt und wobei der räumliche Intensitätsverlauf in jedem der zumindest drei Primärbilder eine andere Position relativ zu der Oberfläche besitzt. In Abhängigkeit von den zumindest drei Primärbildern werden Eigenschaften der Oberfläche bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung zeigen die zumindest drei Primärbilder die Oberflächenpunkte unter gleichen optischen Bedingungen, und aus den zumindest drei Primärbildern werden rechnerisch zumindest zwei Sekundärbilder erzeugt, wobei die zumindest zwei Sekundärbilder voneinander verschieden sind und jedes für eine der frei folgenden Eigenschaften repräsentativ ist: lokale Oberflächenneigung der zu inspizierenden Oberflächenpunkte, lokale Reflektanz der zu inspizierenden Oberflächenpunkte, lokaler Glanzgrad der zu inspizierenden Oberflächenpunkte.
|
