处理系统之控制装置、处理系统之控制方法及记忆控制程式之记忆媒体

摘要

〔课题〕产生异常时退避之晶圆在新搬运地点之PM，于前一阶段被实行之处理内容为特定条件之时，则禁止搬运至新的搬运地点。〔解决手段〕处理系统（10）具有PM1、PM2和LLM1、LLM2和EC200和MC100。EC200控制处理系统内之晶圆之搬运和处理。EC200之搬运地点决定部（255）系以晶圆顺序被搬运至正常PM之方式决定晶圆之搬运地点。退避部（260）系于在PM产生异常之时，将异常PM决定为搬运地点，并且将还未搬入至异常PM之晶圆暂时退避至卡匣台（CS）。搬运禁止部（265），于重新决定上述退避晶圆之搬运地点之时，在新的搬运地点的PM，处理上述退避晶圆之前一阶段被实行之处理满足特定条件之时，则禁止将退避晶圆搬运至新的搬运地点。