遮罩资料产生方法、遮罩制造方法、曝光方法、装置制造方法、及储存媒体

摘要

本发明提供一遮罩资料产生方法，包含：计算在一投射光学系统之影像平面上形成之空中影像的计算步骤；自该空中影像抽出一二维影像之抽出步骤；依据该二维影像，决定该遮罩之主图型之决定步骤；自该空中影像抽出一峰部分之抽出步骤，该峰部分除了在该主图型投射之区域外，其光强度系在峰值；依据该峰部分之该光强度决定一辅助图型之决定步骤；及产生步骤，将该辅助图型插入该遮罩之与该峰部分对应的部分，以产生包含该辅助图型及该主图型的图型资料作为遮罩资料。