雷射处理设备

摘要

本文提供了一种雷射处理设备。雷射束处理设备包括雷射共鸣器、光学系统、反射器以及雷射束对准单元。光学系统转变藉由雷射共鸣器而共鸣的雷射束而使之具有带预定束流宽度的束流轮廓的能量密度。反射器设置在雷射共鸣器及反应室之间以反射雷射束。雷射束对准单元将放射到反应室中的雷射束对准。对准构件限定通孔，此通孔的面积大于雷射束的横截面积以允许雷射束经过。基于穿过对准构件的通孔时检测的雷射束，控制器控制驱动器以控制雷射束的中心及通孔的中心之间的距离。