顶板及电浆处理装置

摘要

本发明所揭示之顶板系设于可抽成真空之处理容器之顶部，使由并设之平面天线构件之槽孔所放射之微波可向处理容器内穿透者，且包含：复数突起部，在顶板之面临处理容器内之面侧设置成放射状。