叠合标记及其制作方法

摘要

一种叠合标记的制作方法。于基底中形成二个第一X方向隔离结构、二个第一Y方向隔离结构、二个第二X方向隔离结构与二个第二Y方向隔离结构，其中第一X方向隔离结构与第一Y方向隔离结构排列成第一矩形，而第二X方向隔离结构与第二Y方向隔离结构排列成第二矩形，且第二矩形位于第一矩形中。依序于基底上形成第一介电层与导体层。进行平坦化制程，移除部分导体层，直到暴露出上述之隔离结构。于基底上形成第二介电层。于第二介电层上矩形图案，此矩形图案的侧边分别位于上述之隔离结构上方。