清洁基板的装置与方法

摘要

本发明提供一种清洁基板的装置。此基板清洁装置包括用于支撑基板的转头、藉由抛光制程以用于清洁基板的第一清洁单元以及藉由注入一处理溶液以用于清洁基板的第二清洁单元。最初，抛光垫与基板接触，以抛光基板，然后，抛光垫被移开而不与基板接触，使得处理溶液能够供应至基板，以清洁基板。