处理制程溶液的方法以及处理基板的装置

摘要

一种处理制程溶液的方法及使用此制程溶液来处理基板的装置。此装置包括处理池、循环线路、旁路线路及过滤器。基板的制程溶液提供于处理池中。循环线路连接至处理池，并且制程溶液经由循环线路而进行循环。旁路线路从循环线路的第一位置分支出来并耦接于循环线路的第二位置。过滤器安装于第一位置和第二位置之间的循环线路的某一位置。