用于探测半导体晶圆之可替换式探针

摘要

本发明系关于一种探测装置，该探测装置具有复数个探测砖形物、一用以承接该等探测砖形物之可互换板、一被设置于该个别探测砖形物及该可互换板上之承接孔之间的浮动板、一提供多维度运动自由度以控制该探测砖形物相对于该可互换板上之承接孔之位置的控制机构。本发明亦提供一种控制该浮动板之方法，其包括：将一对控制杆插入被设置于该浮动板上之二个调整孔中，移动该对控制杆以使该浮动板平移(X-Y)及旋转(θ)运动，以及顺时针与逆时针转动该支重螺钉以提供该浮动板一平移运动(Z)及两个旋转(俯仰及侧滚)运动。