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发明名称
安装护膜的装置及方法
摘要
用于安装一护膜之一种装置及一种方法,该装置包括一护膜压缩板,该护膜压缩板经形成以将复数个特定压力施加至一主光罩之一区域之复数个点或区,在该区域中该护膜之一护膜框架接触该主光罩。
申请公布号
TW200931172
申请公布日期
2009.07.16
申请号
TW097130733
申请日期
2008.08.12
申请人
三星电子股份有限公司
发明人
李祥熙;崔振
分类号
G03F1/14(2006.01);G03B27/62(2006.01)
主分类号
G03F1/14(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文;林嘉兴
主权项
地址
南韩
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