液处理装置及处理液供给方法

摘要

本发明之课题在于：测定含2种以上化学药品溶液之处理液之浓度时，能迅速且准确地测定化学药品溶液之浓度，且测定含较低浓度之化学药品溶液之处理液浓度时，准确地测定化学药品溶液之浓度。本发明提供一种液处理装置，包含：处理部80，以处理液处理被处理体；供给通道1，与处理部80连结，将处理液引导到该处理部80；溶剂供给部7，对于供给通道1供给溶剂；及化学药品溶液供给部5，对于供给通道1经由化学药品溶液供给通道6供给化学药品溶液，并产生经溶剂稀释之化学药品溶液。供给通道1之中，化学药品溶液供给通道6所连结之连结部位25a、35a、45a之下游侧，设置有测定部10，该测定部10测定经溶剂稀释之化学药品溶液之导电率。供给通道1之中，测定部10所设置之测定部位10a之下游侧，连结着追加化学药品溶液供给部11，经由追加化学药品溶液供给通道3供给与前述化学药品溶液相异之追加化学药品溶液。