| 摘要 |
本发明是有关于一种照明光学装置，其可形成所需的形状以及所需的照度的光瞳强度分布，进而可实现富于多样性的照明条件。该照明光学装置包括空间光调变单元以及分布形成光学系统，该空间光调变单元由按照光的入射顺序而配置的第1空间光调变器与第2空间光调变器构成，该分布形成光学系统根据经由第1空间光调变器以及第2空间光调变器的光束而于照明光瞳上形成规定的光强度分布。第1空间光调变器具有多个第1光学元件，该等多个第1光学元件二维地配置着并且各自单独地受到姿势控制。第2空间光调变器具有多个第2光学元件，该等多个第2光学元件以与多个第1光学要素相对应的状态二维地配置着，并且各自单独地受到姿势控制。 |
