| 发明名称 |
Kondensatorstruktur in Grabenstrukturen von Halbleiterbauteilen und Halbleiterbauteile mit derartigen Kondensatorstrukturen und Verfahren zur Herstellung derselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102004044619(B4) |
申请公布日期 |
2009.07.16 |
| 申请号 |
DE200410044619 |
申请日期 |
2004.09.13 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MAUDER, ANTON;SCHULZE, HANS-JOACHIM;STRACK, HELMUT |
| 分类号 |
H01L27/08;H01L21/822;H01L29/06;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/872 |
主分类号 |
H01L27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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