微机电微快门阵列

摘要

本发明提供一种微快门阵列，其具有一框架，该框架具有一透光部分。线性微快门元件横跨该透光部分而延伸且彼此平行。各微快门元件具有：一平叶片，其系在一长度方向上延伸；以及第一扭转臂与第二扭转臂，该等在该长度方向上自该叶片之各侧向外延伸，该叶片横跨该透光部分延伸。至少一电极与各线性微快门元件相关联并平行于该微快门元件在该长度方向上延伸。