以凸型鱼眼光罩制作微针头阵列的方法

摘要

一种以凸型鱼眼光罩制作微针头阵列的方法，其系在一基材之表面涂布有一具有预定厚度之光阻层，并将一凸型鱼眼光罩配置在该基材之表面，且保持一预定间距。以一光源入射通过凸型鱼眼光罩之各个凸型鱼眼透镜并聚焦于该基材上之光阻层之一预定深度以进行曝光。再以显影成模制程除去该光阻层曝光区域，形成一具有凹部结构阵列之母模。形成具有预定厚度之一微针头材料层并填注入该母模之凹部结构阵列中。将该微针头材料层从该母模剥离，以形成该微针头阵列。