用以密封制程腔室之开口的方法与装置

摘要

本发明提供一种用以密封一制程腔室之一开口的方法与设备。在一实施例中，本发明大致上提供一闭合构件用以密封腔室之壁内的开口，该闭合构件被整合在制程腔室之壁中。在另一实施例中，本发明提供一闭合构件，其用以从腔室内侧来密封制程腔室之壁中的开口