场发射电子器件的制备方法

摘要

一种场发射电子器件的制备方法，其包括以下步骤：提供一绝缘基底；在该绝缘基底上分别制备多个平行且等间隔设置的行电极引线与多个列电极引线，每两个相邻的行电极引线与每两个相邻的列电极引线相互交叉形成一网格；在上述绝缘基底上制备多个阳极电极与多个阴极电极，在每个网格中间隔设置一阳极电极与一阴极电极；形成一碳纳米管薄膜结构覆盖于上述设置有电极和电极引线的绝缘基底上；切割碳纳米管薄膜结构，使阳极电极与阴极电极之间的碳纳米管薄膜结构断开，形成多个平行排列的碳纳米管长线固定于阴极电极上作为阴极发射体，从而得到一场发射电子器件。

主权项

1. 一种场发射电子器件的制备方法，其包括以下步骤：提供一绝缘基底；在该绝缘基底上分别制备多个平行且等间隔设置的行电极引线与列电极引线，该多个行电极引线与列电极引线交叉设置形成网络，每两个相邻的行电极引线与每两个相邻的列电极引线相互交叉形成一网格；行在上述绝缘基底上制备多个阳极电极与多个阴极电极，在每个网格中间隔设置一阳极电极与一阴极电极；形成一碳纳米管薄膜结构覆盖于上述设置有电极和电极引线的绝缘基底上，该碳纳米管薄膜结构中的碳纳米管的排列方向从阴极电极向阳极电极延伸；切割碳纳米管薄膜结构，使阳极电极与阴极电极之间的碳纳米管薄膜结构断开，形成多个平行排列的碳纳米管长线固定于阴极电极上作为阴极发射体，从而得到一场发射电子器件。