真空处理设备用的传动机构

摘要

本发明涉及真空处理设备的传动机构，该设备使基片托座绕轴线从进料闸经至少一个处理室被送至出料闸。在中心设有固定的支柱，其上支承着可旋转的传动装置壳体，壳体包括使基片托座旋转和径向移动的控制杆。在该壳体里设有电机和控制杆的可旋转的移动驱动装置，控制杆分别与基片托座连结。电机与位置固定的轴承箱连接，与支柱同心地支承有托架的可转动的星形组件，托架与肘形杆的一端铰接，肘形杆各有一枢轴销，肘形杆的另一端分别与其中一个控制杆铰接，枢轴销在第一控制凸轮里导向，该凸轮走向规定控制杆的径向运动。通过第二控制凸轮，使径向运动与可变的切向运动可变地周期性叠加，该凸轮有一通过铰接板与传动装置壳体相连的肘形杆。

主权项

1. 真空处理设备用的传动机构，可通过该真空处理设备使多个基片托座(52)在一环绕轨道上绕一轴线(A-A)从进料闸(32)经过至少一个处理室被送至一出料闸(34)，其中，在该环绕轨道的中心设有一个位置固定的支柱(1)，一个可旋转的传动装置壳体(6)支承在该支柱上，在该传动装置壳体的外侧面上设有控制杆(9)用于使该基片托座(52)旋转和径向移动，在可旋转的该传动装置壳体(6)里，一个固定的电机(4)设置在该支柱(1)上并且设有用于这些控制杆(9)的可旋转的移动驱动装置，这些控制杆分别穿过该传动装置壳体(6)的其中一道壁板并分别与一个对应的基片托座(52)有效连接，其特征在于，a)该电机(4)与一个位置固定的轴承箱(5)连接，在该轴承箱中，与支柱(1)同心地支承着一个由托架(14)构成的可转动的星形组件，b)这些托架(14)与第一肘形杆(16)的一端铰接，这些第一肘形杆各有一个枢轴销(17)，c)所述第一肘形杆(16)的各另一端分别与其中一个控制杆(9)铰接，d)所述第一肘形杆(16)的枢轴销(17)在位置固定的第一控制凸轮(11)里导向，第一控制凸轮的走向规定出这些控制杆(9)的径向运动。