| 发明名称 | 基板的处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种处理装置，能够提高其刚性并且不使形成处理槽的板材变厚。该用于处理基板的处理装置包括：处理槽(1)，通过板材而形成为上面开口的箱体状，在一个侧面上形成有所述基板的搬入口(2)，而在另一个侧面上形成有搬出口(3)；增强框架(7)，沿着所述处理槽的上部的外周表面而一体设置，用于加固形成该处理槽的板材；和盖部件(16)，被安装在该增强框架上，对所述处理槽的上面开口进行开闭。 | ||
| 申请公布号 | CN100514543C | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200510105127.0 | 申请日期 | 2005.09.22 |
| 申请人 | 芝浦机械电子株式会社 | 发明人 | 末吉秀树;矶明典 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/30(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沙 捷 |
| 主权项 | 1. 一种基板的处理装置，用于处理基板，其特征在于，包括：处理槽，通过板材而形成为上面开口的箱体状，在其一个侧面上形成有所述基板的搬入口，在其另一个侧面上形成有搬出口；增强框架，沿着所述处理槽的上部的外周表面而一体设置，用于加固形成该处理槽的板材；和盖部件，被安装在该增强框架上，用于封闭所述处理槽的上面开口并能够被打开。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||