标准工具和在标准工具上形成多个单元的系统和方法

摘要

本发明提供用于在标准工具上形成多个单元的标准工具、系统和方法。具体地，所述系统改变单元的几何结构或单元的布局或者同时改变二者，以在标准工具上形成纹理表面。

主权项

1. 一种在标准工具上形成多个单元的方法，包括：朝向光线衰减装置发射具有第一功率级的第一激光脉冲；生成幅度基于第一幅值的第一信号，所述第一幅值是与标准工具的单元开口尺寸范围内单元开口尺寸的预定分布相关的多个幅值之一；响应所述第一信号使用光线衰减装置使所述第一激光脉冲衰减至第二功率级；使用所述衰减的第一激光脉冲在标准工具上的第一位置处形成具有第一单元开口尺寸的第一单元；朝向所述光线衰减装置发射具有第三功率级的第二激光脉冲；生成幅度基于第二幅值的第二信号，所述第二幅值是与单元开口尺寸的预定分布相关的多个幅值之一；响应所述第二信号使用光线衰减装置使所述第二激光脉冲衰减至第四功率级；以及使用所述衰减的第二激光脉冲在标准工具上的第二位置处形成具有第二单元开口尺寸的第二单元。