真空腔室和具有该真空腔室的基板传送系统

摘要

本实用新型包含一种用于传送基板进出配置成容纳多块基板的腔室的系统。在一个实施方式中，该系统包含包括沿着垂直轴可独立移动的第一基板支撑溜槽和第二基板支撑溜槽的腔室外壳，以及可移动进出腔室外壳的基板输送装置。第一基板支撑溜槽和第二基板支撑溜槽可移动到部分第二基板支撑溜槽容纳在第一基板支撑溜槽中的位置处。

主权项

1、一个尺寸设计为容纳至少两块大面积基板的真空腔室，其特征在于，所述真空腔室包含：具有内部空间的外壳；以及设置在所述内部空间中的第一支撑托架和第二支撑托架，其中所述第一和第二支撑托架的每一个都包含：多个基本平行并隔开的支撑构件，其限定耦接到设置在第二水平平面中的底部部分的第一水平平面，所述第二水平平面不同于所述第一水平平面，其中所述第一支撑托架的尺寸大于所述第二支撑托架以减小所述外壳的内部空间。