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发明名称
Apparatus and process for cleaning objects, in particular of thin discs
摘要
申请公布号
EP1935514(B1)
申请公布日期
2009.07.15
申请号
EP20060026053
申请日期
2006.12.18
申请人
RENA SONDERMASCHINEN GMBH
发明人
BUERGER, NORBERT
分类号
B08B3/02;H01L21/00
主分类号
B08B3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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