发明名称 |
改善液晶显示面板之组装偏移的方法与液晶面板制造工艺 |
摘要 |
一种改善液晶显示面板之组装偏移的方法,包括下列步骤。对第一基板进行一个工艺步骤,且同时在第一基板上形成第一对准标记。提供光罩,且光罩上已形成有第二对准标记。将光罩设置于曝光设备内,并且将第一基板送入曝光设备内。使光罩上的第二对准标记与第一基板上的第一对准标记进行对准,并存储对准数据。先将第一基板移出曝光设备,再将第二基板移入曝光设备。利用先前存储的对准数据对于第二基板进行定位。以光罩对第二基板进行第一光罩图案转移工艺,并同时在第二基板上形成对应第二对准标记的第三对准标记。 |
申请公布号 |
CN100514163C |
申请公布日期 |
2009.07.15 |
申请号 |
CN200410080608.6 |
申请日期 |
2004.10.08 |
申请人 |
中华映管股份有限公司 |
发明人 |
涂志中;玉鸿典 |
分类号 |
G02F1/136(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;G02B5/23(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/136(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陈 亮 |
主权项 |
1. 一种改善液晶显示面板之组装偏移的方法,其特征是包括:对第一基板进行一个工艺步骤,且同时在该第一基板上形成第一对准标记;提供光罩,且该光罩上已形成有第二对准标记;将该光罩设置于曝光设备内,并且将该第一基板送入该曝光设备内;使该光罩上的该第二对准标记与该第一基板上的该第一对准标记进行对准,并存储对准数据;将该第一基板移出该曝光设备,再将第二基板移入该曝光设备;利用先前存储的该对准数据对于该第二基板进行定位;以及以该光罩对该第二基板进行第一光罩图案转移工艺,并同时在该第二基板上形成对应该第二对准标记的第三对准标记。 |
地址 |
台湾省台北市中山北路三段二十二号 |