位置测量装置和位置测量方法

摘要

本发明提出一种位置测量装置，用以测量工件台的六自由度位置。该装置沿光路依次包括光源、分光镜组、光开关执行器系统、测量反射镜组和二维位置测量传感器。光源发射出入射光；分光镜组，将该入射光分为沿三个测量光路的光束；光开关执行器系统，电性连接至开关控制器，该开关控制器控制该光开关执行器系统依次开关三个测量光路；测量反射镜组；二维位置测量传感器，接收测量反射镜组反射的三个测量光路的光束。本发明提供的位置测量装置只包含一个二维位置测量传感器，可以显著降低成本。

主权项

1. 一种位置测量装置，用以测量工件台的六自由度位置，其特征是，沿光路依次包括：光源，发射出入射光；分光镜组，将上述入射光分为沿三个测量光路的光束；光开关执行器系统，电性连接至开关控制器，上述开关控制器控制上述光开关执行器系统依次开关三个测量光路；测量反射镜组；以及二维位置测量传感器，接收测量反射镜组反射的三个测量光路的光束。