驱动装置，曝光装置，及装置制造方法

摘要

一种驱动装置，包含具有一磁铁的原动机；及具有一线圈的定子。该驱动装置系设计成适于控制待提供给该线圈的电流，以引起原动机及定子之间的相对运动。定子包含一线圈固持构件，建构成可固持该线圈；一支撑构件，建构成可支撑可沿第一及第二方向移动的该线圈固持构件；一限制构件，建构成可限制该线圈固持构件沿该第一方向的运动，及允许该线圈固持构件沿该第二方向的运动；及一偏压单元，建构成可将该线圈固持构件抵压向该限制构件。