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发明名称 Mass flow vertifier with flow restrictor
摘要
申请公布号 GB2436779(B) 申请公布日期 2009.07.15
申请号 GB20070015714 申请日期 2006.03.03
申请人 MKS INSTRUMENTS INC 发明人 ALI SHAJII;DANIEL SMITH
分类号 G01F1/12;G01F1/50;G01F25/00;G01L27/00;G06F19/00 主分类号 G01F1/12
代理机构 代理人
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