发明名称 |
HERSTELLUNGSVERFAHREN VON INTEGRIERTEM HALBLEITERSCHALTKREISBAUELEMENT MIT HALBLEITERFESTWERTSPEICHERBAUELEMENTEN |
摘要 |
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申请公布号 |
AT434834(T) |
申请公布日期 |
2009.07.15 |
申请号 |
AT20020002105T |
申请日期 |
2002.01.28 |
申请人 |
SEIKO EPSON CORPORATION |
发明人 |
EBINA, AKIHIKO;MARUO, YUTAKA |
分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/28;H01L21/8246;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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