发明名称 一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法
摘要 本发明提供一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法,集簇设备控制(CTC)系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令,所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息;工艺控制系统从操作命令中获得接口信息,并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。应用本发明方案,由于CTC系统不必事先将工艺控制系统中的所有功能模块都进行远程引用,从而在与工艺控制系统进行通信时不必占用CTC系统自身大量的资源,也可以避免运行速度和性能的下降。
申请公布号 CN101482746A 申请公布日期 2009.07.15
申请号 CN200810056107.2 申请日期 2008.01.11
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 陆涛
分类号 G05B19/418(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 G05B19/418(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 代理人 王 琦;王诚华
主权项 1、一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:a、集簇设备控制CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令,所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息;b、工艺控制系统从操作命令中获得接口信息,并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。
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