发明名称 |
一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法 |
摘要 |
本发明提供一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法,集簇设备控制(CTC)系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令,所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息;工艺控制系统从操作命令中获得接口信息,并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。应用本发明方案,由于CTC系统不必事先将工艺控制系统中的所有功能模块都进行远程引用,从而在与工艺控制系统进行通信时不必占用CTC系统自身大量的资源,也可以避免运行速度和性能的下降。 |
申请公布号 |
CN101482746A |
申请公布日期 |
2009.07.15 |
申请号 |
CN200810056107.2 |
申请日期 |
2008.01.11 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
陆涛 |
分类号 |
G05B19/418(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
G05B19/418(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王 琦;王诚华 |
主权项 |
1、一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:a、集簇设备控制CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命令,所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息;b、工艺控制系统从操作命令中获得接口信息,并根据获得的接口信息对相应功能模块进行操作。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼二层 |