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发明名称 Methods to clean a surface, a device manufacturing method, a cleaning assembly, cleaning apparatus, and lithographic apparatus
摘要
申请公布号 EP1850182(A3) 申请公布日期 2009.07.15
申请号 EP20070106245 申请日期 2007.04.16
申请人 ASML NETHERLANDS BV 发明人 SINGH, MANDEEP
分类号 G03F7/20;G21K1/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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