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发明名称 Substrate holding apparatus
摘要
申请公布号 EP1839812(B1) 申请公布日期 2009.07.15
申请号 EP20070006746 申请日期 2007.03.30
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 YASUDA, HOZUMI;TOGAWA, TETSUJI;NABEYA, OSAMU;SAITO, KENICHIRO;FUKUSHIMA, MAKOTO;INOUE, TOMOSHI
分类号 B24B37/005;B24B37/04;B24B37/30;B24B49/10;H01L21/304 主分类号 B24B37/005
代理机构 代理人
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