| 发明名称 | 具应力缓冲的微连凸块结构的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明为一种具应力缓冲的微连凸块结构，其包括有：一第一顶面，该第一顶面与基板及电子组件其中之一连接；一第二顶面，该第二顶面与基板及电子组件其中之一连接；一支撑体，连接于第一顶面与第二顶面之间，且该支撑体的二端表面积不大于第一顶面及第二顶面；一缓冲层，设置于支撑体的外部，以提供应力吸收及缓冲的功能。 | ||
| 申请公布号 | CN100514615C | 申请公布日期 | 2009.07.15 |
| 申请号 | CN200610073138.X | 申请日期 | 2006.04.06 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 许永昱;廖锡卿;谭瑞敏;郑智元 |
| 分类号 | H01L23/485(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/485(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 梁 挥;祁建国 |
| 主权项 | 1、一种具应力缓冲的微连结凸块的制造方法，其特征在于，包括：将复数已裁切预定长度的毛细管固定于对应复数个固定模具中；复数毛细管透孔利用电镀方式，而将金属材料镀于该透孔上方中，以形成第一顶面；将复数固定模具与毛细管实施翻转步骤，而使毛细管第一顶面位于毛细管下方，毛细管透孔的上端仍未被封闭，此时，再利用电镀金属材料于透孔中，以形成一支撑体，再利用过度电镀方法使毛细管上方继续形成第二顶面；以及将复数固定模具卸除后，即形成该微连结凸块。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||